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盟庭仪器全自动晶体生长炉

更新时间:2022-04-22

厂商性质:生产厂家

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简要描述:

盟庭仪器全自动晶体生长炉设备简介
感应区熔及晶体生长装置主要包含两种功能,一种用于材料的熔化提纯,一种用于材料的定向凝固。

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  • 设备简介

感应区熔及晶体生长装置主要包含两种功能,一种用于材料的熔化提纯,一种用于材料的定向凝固。
二、盟庭仪器全自动晶体生长炉主要技术参数:
1、*高温度:1650℃
2、线圈升降行程:150毫米,采用伺服电机驱动,升降速度可调节,分为快速和慢速
3、坩埚升降行程:150毫米,采用伺服电机驱动,升降速度可调节,分为快速和慢速
4、石墨坩埚尺寸:φ40*60㎜
5、感应电源振荡功率:15KW,电源电压380V

  1. 采用钨铼热偶监测度,通过电流调节温度

  2. 可抽真空与充保护气氛

  • 盟庭仪器全自动晶体生长炉结构简介

感应区熔及晶体生长装置主要由感应加热装置,坩埚及保温装置、密封石英管装置、区熔装置、定向凝固装置、真空装置、保护气氛装置、测温装置、支架及操作台装置可视化控制系统组成。

  1. 感应加热装置:由一台振荡功率15kW,振荡频率30-80kHZ的高频电源提供感应加热

  2. 坩埚及保温装置:由一只石墨坩埚,一种石英陶瓷保温套、氮化硼保温底座和保温盖组成,保证传输到石英管的温度低于800℃;保温盖开有观察孔,可观察到熔液状态。

  3. 密封石英管装置:由一根石英管,两套密封法兰组成,采用硅胶密封圈密封,局部带水冷,密封法兰上带各种接口,方便其他装置接入。

  4. 区熔装置:由伺服电机、减速机、线性模组和连接块组成,带动线圈沿着石英管上下移动,速度可调节,实现区熔目的。

  5. 定向凝固装置:从石英管底部密封法兰处引入,带动密封结构,留有热偶接口,由步进电机、减速机、线性模组和连接块带动坩埚实现上下升降目的,实现定向凝固功能。

  6. 保护气氛装置:石英管底部密封法兰留有充气接口,带阀门和进气接口,石英管顶部密封法兰留有出气接口与阀门,并装有安全阀,防止气压过高损坏元件

  7. 测温装置:从定向凝固移动管中接入,可直接跟石墨坩埚接触,测量石墨坩埚温度,并能根据温度手动调节高频电源的输出功率。

  8. 支架及操作台装置:采用型材与板材拼接而成,人性化设计,操作方便,占地空间小。

  9. 可视化控制系统:采用PLC+触摸屏控制整套系统,实现可视化操作,操作直观方便。还可实时记录各种实验数据并下载到PC端,方便用户调整工艺数据。


 


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